Titan-Targetmaterialien

• Titan-Targetmaterialien werden aus hochreinem-Titan oder Titanlegierungen hergestellt. Die Reinheit beträgt 99,9 % bis 99,9999 %. Sie sind eine Art hochreines Material, das durch das physikalische Gasphasenabscheidungsverfahren (PVD) hergestellt wird und hauptsächlich in der Sputterbeschichtungstechnologie verwendet wird.
• Titan selbst ist ein Übergangsmetall mit ausgezeichneter Hitzebeständigkeit und Festigkeit, weshalb die daraus hergestellten Zielmaterialien in Umgebungen mit hohen{0}Temperaturen und hohem-Druck eine gute Leistung erbringen.
• Diese Art von Zielmaterial wird hauptsächlich in den Bereichen Halbleiter, optische Beschichtung, dekorative Beschichtung, industrieller Korrosionsschutz und anderen Bereichen verwendet und ist eines der wichtigsten Grundmaterialien in der High-End-Fertigung.

• Reinheitsangabe:

99,9 % (3N): Es wird häufig in Bereichen wie dekorativen Beschichtungen mit relativ geringen Reinheitsanforderungen und Werkzeugbeschichtungen verwendet.

Größer als oder gleich 99,99 % (4N): Dies ist die Basislinie für Anwendungen in Bereichen wie neuen Energien (wie Solarenergie).

99,995 % (4N5): Die typische Reinheit der gängigen Titan-Targetmaterialien, die in Halbleitern verwendet werden.

Größer als oder gleich 99,999 % (5N): Wird hauptsächlich für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente verwendet.

Größer oder gleich 99,9999 % (6N): Wird hauptsächlich bei der Herstellung von sehr großen integrierten Schaltkreisen (VLSI) mit einer Kapazität von 16 Megabit oder mehr verwendet und stellt die höchste Anforderungsstufe dar.

• Die Formen und Größen von Titan-Targetmaterialien werden hauptsächlich in zwei Kategorien unterteilt. Sie können auch entsprechend den Kundenanforderungen angepasst werden, um den Anforderungen unterschiedlicher Anwendungsumgebungen gerecht zu werden.

Zylindrisches Targetmaterial

Übliche Durchmesser: 60 mm, 65 mm, 95 mm, 100 mm (wird hauptsächlich zur Dekoration und in der Werkzeugindustrie verwendet)

Gemeinsame Länge: 30 mm, 32 mm, 40 mm, 45 mm

Allgemeine Spezifikationen für die Waferbeschichtung: Φ200 mm (8-Zoll-Wafer), Φ300 mm (12-Zoll-Wafer)

• Zylindrisches Targetmaterial (rotierendes Target)

Dies ist die gängige Wahl für großflächige Beschichtungen, die häufig in Anzeigetafeln und Photovoltaikfeldern eingesetzt werden und eine höhere Ausnutzungsrate aufweisen. Die Größen sind vielfältig und müssen an das Design der Produktionslinie angepasst werden.

• Materialeigenschaften

Basierend auf den Anforderungen eines hohen Schmelzpunkts und einer niedrigen Dichte

Mit relativ hohen Anforderungen an Gleichmäßigkeit und Verunreinigungskontrolle

 Halbleiterindustrie: Titan-Targetmaterialien werden in der Halbleiterfertigung zur Abscheidung von Titanfilmen verwendet, die als leitende Schichten oder Barriereschichten dienen, und werden häufig in integrierten Schaltkreisen und mikroelektronischen Geräten eingesetzt.

 Optische Beschichtung: Titantargets können zur Herstellung hochreflektierender oder Antireflexionsbeschichtungen verwendet werden, die unter anderem auf optische Linsen, Bildschirme und Solarpaneele aufgebracht werden.

 Dekorative Beschichtung: Titansubstrate können durch den Sputterprozess mit verschiedenen Farben beschichtet werden und werden häufig in den Bereichen Uhren, Schmuck und Heimdekoration verwendet.

 Medizinische Geräte: Titanmaterialien werden zur Herstellung biokompatibler Beschichtungen verwendet, die auf medizinische Geräte wie künstliche Gelenke und Zahnimplantate aufgebracht werden, um deren Haltbarkeit und Biokompatibilität zu verbessern.

 Luft- und Raumfahrt: Titanmaterialien werden zur Herstellung hochtemperatur- und korrosionsbeständiger Beschichtungen verwendet und auf Flugzeugtriebwerkskomponenten und den Oberflächenschutz von Raumfahrzeugen aufgebracht.

 Energiesektor: Titan-Targetmaterialien werden in Lithium-Ionen-Batterien und Brennstoffzellen zur Herstellung von Elektrodenmaterialien verwendet und verbessern so die Leistung und Lebensdauer der Batterien.

Baoji Yibaite Neue Materialtechnologie Co., Ltdist der beste Hersteller und Lieferant von Titanprodukten. Wir verfügen über ein professionelles Forschungs- und Entwicklungsteam und umfangreiche Produktionserfahrung. Wir haben das GB/T 19001-2016/ISO9001:2015-Zertifikat und das ISO 13485-Zertifikat.

 

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